第833章 三百毫米圆片，划痕偏在第七轮（1/2）

陈大川把照片放大，又缩回去，终于确认那道被圈出来的伤痕，不是屏幕上的灰。

资料里的圆片直径三百毫米，属于相关半导体装备试验中使用的监测晶圆。照片拍得很清楚，边缘那点变化却细得让他一时不知道该先看机器，还是先找一副更好的眼睛。

“这东西跟刚才八吨工装一比，简直像没重量。”他说。

梁师傅看了一眼：“要求可不按你提着累不累算。”

吕建国接通对方项目负责人，先讲清资料共享范围。邀请来自授权协作的精密装备项目渠道，对方希望野火评估试验线有关搬运机械及接口状态，并非直接请他们改整套工艺。

当前异常涉及圆片在相关循环中出现边缘损伤，现场已按状态停下有关试验，损伤片与对照样片分开保留，没有拿一张好看的照片覆盖整个批次。

陈大川看着记录里那个反复出现的七，忍不住问，是不是程序数到七就开始捣乱。

周野没有直接点头。

“先问七是怎么数的。”

对方项目负责人听见这句，停了一下，随后将试验记录进一步展开。

所谓七轮附近，当前来自若干组现场观察。按设备循环计数、按圆片序号计数，还是按载具位置计数，相关信息还需要严格对应，不能一个数字反复出现，就认定背后已经站着同一个原因。

林浩将几类编号分开，先核对原始记录能支持哪些关系。

他还请对方保留同条件下没有发现损伤的组次，不只把坏片编号抄成一张很整齐的表。只有异常结果，没有对应的正常结果，很容易让一个反复出现的数字显得比实际更确定。项目负责人理解后，安排完整记录一并核对，那个七仍值得看，却不再拥有提前指定故障原因的特权。

陈大川趴在桌边看了一会儿，笑着说机器大概也不是上六天班，第七天故意跟人过不去。

梁师傅抬头：“它没双休，你倒先替它排上了。”

电话那头传来一阵轻笑，原本有些绷紧的介绍终于顺畅了些。

项目负责人进一步说明，当前并未确定损伤发生在搬运过程的哪一段。相关工艺模块、接口和载具状态，需要结合允许获取的过程资料分别核查。

野火可以参与设备机械及关联状态评估，洁净条件、工艺质量与最终判断仍有各自专业队伍承担。